在循环冷却水系统中，水垢是由过饱和的水溶性组分形成的。水中溶解有各种盐类，如重碳酸盐、碳酸盐、硫酸盐、氯化物、硅酸盐等，其中以溶解的重碳酸盐如碳酸氢钙和碳酸氢镁最不稳定，极容易分解生成碳酸盐，因此，当冷却水溶解的重碳酸盐较多时，水流通过换交热器表面，特别是温度较高的表面，就会受热分解生成碳酸钙沉淀。结垢初期垢层呈现颗粒或者薄片状，这也就我们肉眼可见的软垢，可见软垢的产生是因为水质中碳酸盐含量高过药剂所承受的范围，此时只要立即作排污降低浓缩倍数处理，系统是不会进一步出现硬垢沉积在换热器表面的。

另外：生物粘泥等污垢沉积物是微生物参与、粘接泥沙、飞尘、有害气体等形成的“多层复合体”也俗称“软垢”。通过勤洗塔并改善周围环境，可减少污泥沉积物的产生。